SPPL聚丙烯膜CMP漿液過濾濾芯有什么作用？

SPPL聚丙烯膜CMP漿液過濾濾芯有什么作用？

CMP即化學機械平面化是用于制造半導體工業(yè)中晶圓的拋光工藝，通常由于運輸或處理問題，干燥以及漿料分配系統(tǒng)內(nèi)的相互作用，漿料再運輸?shù)骄A表面的過程中會帶入大顆粒雜質(zhì)，會對半導體晶片表面造成損傷。

SPPL系列CMP漿液過濾聚丙烯折疊濾芯就是專為微電子器件中的化學機械拋光漿料過濾而設(shè)計的。濾芯采用熔噴工藝，形成等分布的均勻顆粒，濾材內(nèi)部呈三維微孔結(jié)構(gòu)，微孔孔徑順濾液方向梯狀分布，能有效截留不同大小的顆粒。有效提高過濾效率的同時，還解決了濾芯容易堵塞的問題，延長濾芯的使用壽命。

SPPL聚丙烯膜CMP漿液過濾濾芯的優(yōu)點：

1、濾袋過濾孔徑成梯狀分布，對可能造成晶片表面?zhèn)Φ膱F狀顆粒敏感，能實現(xiàn)有效過濾并延長濾芯使用壽命。

2、濾芯化學性能穩(wěn)定，耐酸耐堿性液體。

3、濾芯采用熱熔工藝，密封性良好，且通過性好，適用于大部分型號。

4、濾芯過濾面積大、過濾效率高、有效提高晶片的成品率。